“极紫外光刻关键技术研究”项目通过验收

原标题：“极紫外光刻关键技术研究”项目通过验收

本报讯（记者李晓静）日前，“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项实施管理办公室组织专家，在中国科学院长春光学精密机械与物理研究所召开了“极紫外光刻关键技术研究”项目验收会。评审专家组充分肯定了项目取得的一系列成果，一致同意项目通过验收，认为该项目的顺利实施将我国极紫外光刻技术研发向前推进了重要一步。

极紫外光刻光学技术代表了当前应用光学发展最高水平，作为前瞻性EUV光刻关键技术研究，项目指标要求高，技术难度大、瓶颈多，创新性高，同时国外技术封锁严重。

2008年国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项将EUV光刻技术列为“32-22nm装备技术前瞻性研究”重要攻关任务。长春光机所作为牵头单位承担起了“极紫外光刻关键技术研究”项目研究工作，成员包括中国科学院光电技术研究所、中国科学院上海光学精密机械研究所、中国科学院微电子研究所、北京理工大学、哈尔滨工业大学、华中科技大学。

项目研究团队秉承锲而不舍的科研精神，潜心钻研，厚积薄发，历经八年的艰苦奋战，圆满完成国家重大专项部署的研究内容与任务目标，实现EUV光学成像技术跨越，显著提升了我国极紫外光刻核心光学技术水平。