中科仪：拟实施集成电路干式真空泵扩产项目
每经AI快讯，10月20日，中科仪公告，公司计划在已有募投项目“干式真空泵产业化建设项目”和“高端半导体设备扩产项目”基础上，实施集成电路干式真空泵扩产项目。项目资金来源为自筹资金，项目拟投资42,313.48万元，其中中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司及上海分公司拟投资19,144.70万元，实施主体为中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司；中科仪（南通）半导体设备有限责任公司拟投资23,168.78万元，实施主体为中科仪（南通）半导体设备有限责任公司。
每日经济新闻
“特别声明：以上作品内容(包括在内的视频、图片或音频)为凤凰网旗下自媒体平台“大风号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储空间服务。
Notice: The content above (including the videos, pictures and audios if any) is uploaded and posted by the user of Dafeng Hao, which is a social media platform and merely provides information storage space services.”