潜心蛰伏 化茧成蝶 “小而专”的电子特气企业发展势头迅猛

津云新闻讯：“电子特气是什么？是研究天然气吗？”每当被问起从事什么工作，天津绿菱气体有限公司技术总工程师王新鹏总要耐心地向别人解释，电子特气是什么、应用在哪。

说起芯片制造，大家听过最多的是光刻机，但电子特气用在芯片上却鲜有人知。芯片产业是最灵敏的晴雨表，它紧密捆绑电子特气产业的发展。作为电子工业生产不可缺少的原材料，电子特气围绕集成电路、平面显示、太阳能电池和光纤等，广泛应用于电子半导体的薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散等制作工艺中。

　建立电子特气企业

依托南港石化产业集群，在南港工业园区，绿菱气体11月初刚刚正式投产研发、生产基地，这里建有研发中心、分析室、生产车间、原材料仓库等多个功能区以及19条生产线。未来，南港生产基地也将作为企业上市的主体。

作为与半导体紧密相关的行业，从无到有，从0到1，绿菱气体填补了多项国家空白，紧跟半导体先进制程的更新换代，不断推进特种气体在新领域开发和应用，逐渐在半导体产业链上实现国产化替代。

天津绿菱气体有限公司首席执行官王剑介绍说：“绿菱公司最早做出口贸易起家，在和外商接触的过程中，了解到电子特气这个行业。高纯电子特气是从基础化工原料中合成或者纯化而来的，而中国又是全世界基础化工最发达的国家，因此在中国做电子特气有很好的条件。我们也有幸结识了国内外的一些行业专家，给予我们很多技术上的指导和帮助，所以在2001年，我们在北京昌平建立了第一个电子特气工厂。”

此后在2008年，企业整体搬迁到武清区，建立绿菱电子材料（天津）有限公司，2020年，在南港工业区投资建设天津绿菱气体有限公司。

如今，在天津，绿菱共有员工超过200人，武清生产基地年产能达到1000吨，2022年实现年产值3亿元。南港生产基地设计年产能达到6000吨，产品大多供给国内、国外知名大型芯片终端厂商。目前，企业已研发、量产出20多种电子级特种气体，在多个环节实现国产化替代。

摸着石头过河

近两年，行业发展势头迅猛，带动企业迅速发展，但放眼最初的几年，甚至10年间，行业都没有太大的起色，企业像一只蛰伏多年的蚕蛹，终有一日破茧成蝶，迎来实质的飞跃。

面对当时国内生产技术空白、生产装备空白、分析检测设备空白、分析方法空白等一系列空白，王新鹏带领团队从有限的已知资料中查找，找到关键点就投入测试，测试成功后立刻设计投产。他们摸着石头过河，一步步实现产品合成、提纯、分析、印证。目前，企业的生产设备、检测工艺等环节，已实现五次迭代升级。

王新鹏自2004年大学毕业后，就到绿菱企业工作，回看多年来企业的发展，他笑着说：“现在的生产设备与工艺流程，已与初代完全不同了。当时为什么没有实现从第一代直接迭代到第五代？这也是让我们自己感慨的地方，在企业自身发展过程中，这些年我们是一步步不断摸索，紧跟市场步伐，一步一个脚印走过来的。”

“芯片制造工艺非常复杂，在国产化的进程中，周期是比较漫长的，当时国内很多集成电路的设备、原材料都是进口，如果芯片厂商更换新材料，测试过程往往需要2-3年时间，这会给企业生产效益造成一定的压力。”王剑说。

“既然电子特气在国外有市场，那必然有一天国内市场也将发展起来！”尽管前期不赚钱，并且需要持续投入资金、人员进行研发，但企业领导层看到未来发展前景，预感到国内市场会有广阔应用前景，多年来毅然坚持，在电子特气领域持续攻关。

化茧成蝶破势如虹

扎根津沽大地15年，绿菱始终从事高纯电子特气研发与生产，近日，企业被授予国家级专精特新“小巨人”称号，得益于半导体行业的快速发展，绿菱也逐步成为中国半导体用高纯电子特气的龙头企业。

王剑介绍说：“据统计，高纯电子特气全球市场规模大约在50亿美元左右，中国市场大约在200亿人民币左右，这是一个市场规模不大，但是不可或缺的行业。”

也正因为市场规模不大，在产品生产出来的测试、分析环节，很多先进设备集中在国际上的一两家知名企业，设备昂贵，企业根本买不起。

“没钱买检测设备怎么办？那我们就自己组装。”汤萍是绿菱气体的质管部经理，他靠着自主钻研的劲头，抱着向国外先进企业学习的态度，在客户的不断反馈下，耐心钻研检测分析技术、调试产品，他还参与国标制定，与王新鹏带领的研发团队一起，设计了多项发明专利和实用新型专利，让电子特气这一细分领域实现从无到有，再到参与制定国标的国产化路径。

溴化氢产品本身是化工原料，半导体用量很小，国内可以实现低纯度生产，但是高纯度的产品完全依赖进口。企业看到未来溴化氢将作为先进的刻蚀器来使用，决定投入研发生产。

其间，企业抱团式发展，市场部调研市场销售情况，调研市场规模、市场价格等，研发部负责纯化技术、纯化设备的调研，采购部负责低纯度溴化氢原材料采购。

面对这一腐蚀性强的产品，王新鹏带领团队一步步解决生产设备和储存气瓶的防腐问题，再一步步解决杂质、提纯，最后在产品测试中，选择分析仪器、建立分析方法……功夫不负有心人，最终他们做成纯度达到99.999%的电子级高纯度溴化氢。

“前期产品的研发、推广很困难，一旦进入产业链以后，产品也很难被替代。”王新鹏说。正是产品有一定技术门槛，多年攻关下来，让他们对产品越做越有信心，越做越有成就感、使命感。

“前几年，我们要去芯片终端厂商推广技术产品，现在，很多大型厂商直接主动上门来找我们。”说到这，汤萍有些自豪，这不仅是企业的成长，也带动了他个人的成长。

从农村走出来，考上大学，毕业后来到绿菱工作至今，40岁的汤萍与企业很多员工一样，与行业、与企业同发展、共命运，他们在天津安家置业，享受天津市的人才引进政策，汤萍与王新鹏还是天津市人社局认定的高级工程师。

“十几年来，从白手起家到有了安稳的小家，享受到天津市的人才引进政策待遇，也有了副高级职称。这两年，我还买了第二套房子，放眼全国，可能也没有哪个城市可以有这样的条件，我十分感谢天津这个城市，让我在企业里，给我成长、发展的空间。”汤萍感慨地说。

如今，企业发展势头蒸蒸日上，他们还将带着使命感与荣誉感，继续做喜欢的事、做专业的事，在电子特气这一细分领域，把产品做精做细，气势如虹地发展下去！

（津云新闻记者 苑美丽）

责任编辑：姜雯馨