“千分之一发丝”的巅峰较量

原标题：“千分之一发丝”的巅峰较量

本报记者 俞陶然

在上海微电子装备有限公司的超净室里，停放着十几台各占地三四十平方米的 “大家伙”，它们的名字叫光刻机。隔着玻璃，记者看到了超净室里的科研人员，他们都“全副武装”，穿着白色或蓝色的工作服，戴着帽子和手套，整张脸只露出两只眼睛。

“最里面那台搭着脚手架的机器，就是90纳米光刻机，今年底将接受国家的验收。”公司总经理贺荣明告诉记者。90纳米，约等于一根头发丝宽度的1/1000。这个肉眼根本无法辨识的距离，正是光刻机所要曝光出的电路宽度。由这些电路构成的集成电路芯片，将用于各行各业。

10年前，全世界能生产此类光刻机整机的只有荷兰和日本的3家公司。而今，在贺荣明的带领下，上微公司加入了这一处在先进制造业巅峰的“国际俱乐部”。

在实战中培养年轻“将领”

2002年，时任上海电气（集团）总公司执行副总裁的贺荣明受上级委派，在浦东张江组建上海微电子装备有限公司，带领团队走上了艰辛的光刻机自主研发之路。

“不搞光刻机，就不知道我们的精密制造工业与发达国家差距有多大。”尽管贺荣明深知中国在该领域基础薄弱，但当他投身光刻机行业后，还是发出了这样的喟叹。公司成立之初，他去德国谈技术合作，德国工程师扔下的一句话印证了这个残酷的事实：“就是给你们全套图纸，你们也做不出来！”

基础太薄弱，怎么办？贺荣明指出了一条路径：培养本土人才。

12年前的国内高校，缺乏与光刻机相关的专业。然而短短几年内，上微公司就与上海交通大学、浙江大学、华中科技大学等高校建立了合作关系，联合培养硕士生、博士生，让这些年轻人在校期间就走进上微，构想国产光刻机的研发蓝图。

周畅，华中科技大学博士，2003年进入上微，如今已是公司技术副总监。“贺总给我们年轻人承担重大项目的机会，也有足够的耐心。”这些年，周博士先后负责先进封装光刻机和OLED TFT光刻机项目，并成为公司的一级学科带头人——贺荣明在上微也设立了这种通常在高校、科研院所才有的头衔，为技术人员开辟出一条除管理岗位外的上升渠道。

看到年轻员工成长为“将领”，贺荣明感到了由衷的喜悦，但人才流失，也曾带给他伤痛。2008年，上微公司承担的“863计划”项目即将验收，政府投入的资金几乎告罄。一家跨国公司乘虚而入，开出两倍的薪水挖走了一批精密控制人才。郁闷许久的贺荣明，想出了亡羊补牢的办法——建立“产品开发知识库”，从制度上保证技术知识的沉淀。他要求，今后员工每完成一个项目就要编写技术文档，经评审后存入知识库。这样一来，即使员工离职了，他开发的技术还留在公司，后来者学习后就能掌握，这也缩短了公司培养人才的周期。

以专利战略抢占“科技领空”

在培养本土人才的同时，贺荣明还指明了另两条路径——利用全球资源、实施知识产权战略。

立志做光刻机行业 “顶层设计者”的贺荣明，强调全球优质资源为我所用。在市政府的大力支持下，上微公司在物镜等光刻机重要部件上，找到了一流的国际合作伙伴。经贺荣明的积极“游说”，公司还组建了一支海外团队，他们大多是快退休的国外光刻机技术专家，具有丰富的经验，经常来沪指导年轻的中国同行。

“去美国和几家制造精密传感器、控制器和光学仪器的企业老总交流，美国人看到我们公司的技术，很惊叹。”贺荣明的言语中透着自信。

这份自信，很大程度上源于上微的专利“家底”。公司成立至今，已申请中国发明专利1300多项，授权485项；申请国际发明专利79项，授权29项。

在贺荣明看来，光刻机系统太大、太复杂，公司不能遵循“点上突破”的传统专利思路，而是要做好专利架构的顶层设计，从上往下部署。从2006年起，上微从紧张的研发经费中拨出一块，组建了一支专门研究专利的团队。

2012年，欧洲的一家大公司在中国申请了某种光刻机技术的专利。上微专利团队很快发现，它可能是个“流氓专利”。贺荣明解释说，这种专利恶意扩大权利范围，使该范围内的其他技术今后无法申请专利。“专利是 ‘科技领空’，不能被他国企业任意占领！”在贺荣明部署下，上微的专利工程师和研发人员把“流氓专利”剖了个底朝天，找出了它的破绽。在向国家知识产权局提出反诉后，经两次调查，该专利的权利要求被砍掉一半。在这些被砍掉的地方，上微迅速组织力量，把自己的专利填进去，打了一场漂亮的“科技领空反击战”。

“我们一定要珍惜这个时代”

2009年，作为国家16个重大专项之一的“02专项”启动，它的全名叫“极大规模集成电路制造技术及成套工艺”。而光刻机，是这个专项的重中之重。

今年底，上微公司研制的90纳米光刻机将接受“02专项”验收。接下来的5年内，上微将研发65纳米光刻机，并实现产业化。再接下来，是45纳米、32纳米……逐步逼近1/2000的发丝宽度。

1961年出生的贺荣明告诉记者，他的职业生涯经历了三个阶段。第一阶段是 “引进期”。1985年从同济大学机械工程管理系毕业后，他进入原上海机电工业管理局，从事国外技术的引进工作，但发觉总赶不上国外设备的更新换代。第二阶段是从1990年开始的“合资期”。那时他转入企业，与许多外国企业谈合作，用中国巨大的市场换先进技术，但核心技术仍被外国企业攥在手里。第三阶段是“创新期”。2002年，他受命组建上微公司，开启了一段艰难而辉煌的创新历程。

这三个阶段，与改革开放后中国的发展道路紧紧维系在一起。“我经常对公司员工们讲，如今国家对自主创新的支持力度史无前例，我们一定要珍惜这个时代。”贺荣明动情地说。